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Pick Up【協立製作所/石英インラインヒーター】 2010年05月14日

抜群の耐久性、信頼の実績!

ナイトライドエッチング及びSC-1洗浄工程に於いて抜群の耐久性・長寿命の実績あり。
ヒーターエレメントにインコネルヒーターの使用することで従来の空焚きによる断線やエアー溜まり部の断線が解消、長寿命で熱効率の高いインラインヒーターを実現しました。

【特長】
1.薬液循環用加熱ヒーターとして、薬液循環バスとの併用でご利用できます。
2.熱効率の良いインコネル製ヒーターエレメントを採用しています。
3.石英筒の外面全体に網目状のヒーターエレメントを直接接着し、剥がれや隙間が無く断線等のトラブルがありません。
4.接液部は高純度石英ガラスでクリーンです。そのため半導体部品に影響を与える金属イオンの溶出がありません。構造は非常にシンプルな為液溜まり等ができません。
5.外装には難燃性に優れたFRPP(自己消化性PP)の採用。
6.インコネルヒーターの温度検知によりヒーター温度の制御を行う過熱防止用安全機構を装備しています。

【主な用途例】
・洗浄工程(拡散前処理等)
・エッチング工程(ナイトライドエッチング)
・剥離工程(レジスト等)
・その他精密洗浄工程

詳細は協立製作所のHPをご覧ください。
http://www.kyoritsu-yes.co.jp/